Oljor & smörjmedel
Vi rekommenderar starkt att du endast använder de rekommenderade kvaliteterna av vätskor och tätningsmedel för att bibehålla Edwards produkters höga prestanda. Om du använder sämre material kan detta leda till en minskning av pumpens eller systemets effektivitet, delvis eller fullständigt fel på utrustningen och överdriven avgasning.
Alla våra vätskor och tätningsmedel testas under formella laboratorieförhållanden. Dessutom har vi skaffat oss stor erfarenhet på plats genom vår egen användning av dessa material och genom att hålla nära kontakt med användare som har specifika problem. Eftersom många fall av misstänkt underpresterande utrustning så småningom spåras till användningen av olämpliga eller otillfredsställande vätskor och tätningsmedel, ger vi gärna råd om rätt val av vätskor och tätningsmedel för din applikation.
Mineralbaserade material: Dessa material inkluderar roterande pumpoljor, Diffstak och diffusionspumpoljor och -fetter. De finns med eller utan olika tillsatser för olika applikationer.
Silikonbaserade material: Dessa material är används för Diffstak och diffusionspumpvätskor och fetter. De består av antingen tetrametyltetrafenyltrisiloxan eller pentafenyltrimetyltrisiloxan.
Syntetisk-organiska föreningar: Dessa inkluderar olika hindrade estrar, fenyletrar och naftalenbaserade föreningar. De erbjuds för användning i Diffstak och diffusionspumpar, men de kan också användas som roterande pumpoljor i vissa unika tillämpningar. Edwards kan ge råd om matchning av vätskorna till särskilda applikationer.
Fluorerade material (PFPE): Dessa är perfluorpolyetrar. Perfluorpolyeter är ett helt fluorerat material fritt från andra halogener och från väte, och är därför av särskilt värde där frihet från kolväten är viktig. Det är inert mot de flesta reaktiva kemikalier såsom UF 6 , F 2 , O 2 , O 3 , och så vidare, och det polymeriserar inte när det utsätts för elektron- och de flesta jonbombardement. Perfluorpolyetervätska finns i kvaliteter som är lämpliga för användning i roterande pumpar. Ett Fomblin®-fett med lågt ångtryck (AR555) finns tillgängligt som kombinerar goda smörjegenskaper med överlägsna vakuumegenskaper.
PFPE för halvledarapplikationer: Den största ökningen av användningen av perfluorpolyeterföreningar (PFPE) har skett i applikationer där fientliga processförhållanden snabbt förstör normala kolvätepumpoljor. Detta gäller särskilt vid halvledarbearbetning. De korrosionsbeständiga egenskaperna och kemiska trögheten hos PFPE resulterar i kraftigt ökade driftstider mellan oljebyten och pumpunderhåll, och detta ger en kostnadseffektiv lösning för många svåra pumptillämpningar. Dessa är de grundläggande egenskaperna hos PFPE och fördelarna för användning i vakuumsystem:
- Kemiskt inert Idealisk för pumpar aggressiva material, särskilt i halvledarprocesser.
- Hög oxidationsbeständig vätska skadas inte av upprepad exponering för luft vid driftstemperaturer.
- Icke-antändbar Ingen brandrisk.
- Hög termisk motståndskraft Inga rester av tjärföreningar som bildas vid överhettning. Så småningom reducerad till gasformiga produkter.
- Syrekompatibel Tillåter absolut säker pumpning av syre (NASA godkänd för system med flytande syre). Maximal rekommenderad drifttemperatur och tryck för 100 % syre är 250 °C och 91,4 kg cm-2 och 60 °C, 175,75 kg cm-2.
- Icke- polymerisation Polymeriserar inte vid exponering för energiskt partikelbombardement (förutom vätejoner). Detta minskar påverkan av återströmmade ångor och är en viktig egenskap där polymerer inte kan tolereras (till exempel i elektronmikroskop).
- Blandbar med de flesta vanliga lösningsmedel.
- Tillåter pumpning av lösningsmedel även utan gasballast.
Innan du laddar med PFPE, rengör pumparna noggrant för att uppnå maximal fördel. Om du inte har skickliga tekniker tillgängliga rekommenderar vi att du lämnar tillbaka pumparna till ett Edwards servicecenter för att rengöras och fyllas på. Vissa modeller av högvakuum-rotationspumpar och mekaniska boosterpumpar anpassade för användning med PFPE är tillgängliga som standard och kan hittas i lämpliga avsnitt i denna katalog: dessa pumpar är monterade och testade med PFPE.
Säkerhetsanvisning Perfluorpolyeter är en fluorerad förening och avger giftiga ångor om den utsätts för temperaturer över 280 °C. Utsätt inte PFPE för öppen låga och förbjud rökning i arbetsområden.
