Den inåteldade brännkammaren används av de flesta stora halvledartillverkare och har blivit en världsstandard inom gasreducering sedan 1994. Vår unika förbränningsteknik arbetar med en enhetlig förbränningstemperatur. Detta säkerställer mycket låga bakgrundsutsläpp, och det inåtgående gasflödet förhindrar processmaterial i kontakt med kammarväggarna, vilket minimerar blockeringen av fasta ämnen. Den exklusiva sammansättningen av förbränningsmaterialet säkerställer överlägsen motståndskraft mot korrosion och hjälper till att förse Atlas med oöverträffad tillförlitlighet och säkerhet. På vårt toppmoderna miljöinnovationscenter har vi processtrimmade lösningar för enastående prestanda, fältbeprövade och tredjepartsverifierade. Abatement DRE:s sträcker sig vanligtvis bortom global och lokal lagstiftning: SiH4 och andra halogenider under TLV NF3 : >99% / <TLV F2 : : >99% / <TLV CF4 : >90% Andra PFC : >99% Med en expansiv installationsbas, oöverträffat globalt applikationsteam och servicesupport kan vi erbjuda den bästa lösningen utformad för dina processbehov. Ta kontakt med vårt team så kan vi arbeta tillsammans för den ultimata lösningen.