Manuella grindventiler
Kan motstå 1,2 bar absolut i båda riktningarna
Undviker omstartsproblem genom att hålla pumpen igång under underhåll
Rostfri stålkonstruktion och robust design
Lång livslängd och tillförlitlighet i tuffa miljöer.
Pneumatisk solenoid och förkopplat alternativ
Enkel fettfri tätningsmekanism
Minimerar skador på grund av partiklar i dammiga processer.
Förkonfigurerad enkel "plug and play"-installation.
Edwards BGV-slussventiler är bälgtätade slussventiler av rostfritt stål för användning i applikationer som kräver hög läckagetäthet och ett minimum av kolväten i vakuumsystemet. Även om BGV-slussventiler är huvudsakligen utformade för isolering av pumpar i halvledarfab-källaren, är BGV-slussventiler även idealiska i andra applikationer där en 1 bar differential vid öppning är önskvärd.
De är designade för användning i tryckintervallet 1,2 bar absolut till 1 x 10⁻⁸ mbar (1,2 x 10⁵ till 1x10⁻⁶ Pa). BGV-slussventiler tål 1,2 bar absolut i båda riktningarna, vilket gör att vakuumledningen ovanför pumpen kan ventileras med ventilen stängd. De manuella BGV-ventilerna har en visuell indikering av portens läge på sidan av enheten för att visa när den är öppen.
Tekniska data
|
||
| BGV | ||
| Läckagehastighet (kropp / ventilsäte) | mbar l/s | <1x10-9 / <1x10-7 |
| Tryckområde | - | 1x10-8mbar to 1.2 bar |
| Max driftstemperatur (ventilhus) | °C | 150 |
| Cyklar fram till första service | - | 5000 |
| Finns med | NW50, ISO63, ISO80, ISO100, ISO160 |
Kan motstå 1,2 bar absolut i båda riktningarna
Undviker omstartsproblem genom att hålla pumpen igång under underhåll
Rostfri stålkonstruktion och robust design
Lång livslängd och tillförlitlighet i tuffa miljöer.
Pneumatisk solenoid och förkopplat alternativ
Enkel fettfri tätningsmekanism
Minimerar skador på grund av partiklar i dammiga processer.
