
Kan motstå 1,2 bar absolut i båda riktningarna
Undviker omstartsproblem genom att hålla pumpen igång under underhåll
Rostfri stålkonstruktion och robust design
Lång livslängd och tillförlitlighet i tuffa miljöer.
Pneumatisk solenoid och förkopplat alternativ
Enkel fettfri tätningsmekanism
Minimerar skador på grund av partiklar i dammiga processer.
Förkonfigurerad enkel "plug and play"-installation.
Lock Out Tag Out (LOTO) versioner finns också tillgängliga.
Tekniska data
Edwards BGV-slussventiler är bälgtätade slussventiler av rostfritt stål för användning i applikationer som kräver hög läckagetäthet och ett minimum av kolväten i vakuumsystemet. Även om BGV-slussventiler är huvudsakligen utformade för isolering av pumpar i halvledarfab-källaren, är BGV-slussventiler även idealiska i andra applikationer där en 1 bar differential vid öppning är önskvärd.
De är designade för användning i tryckintervallet 1,2 bar absolut till 1 x 10⁻⁸ mbar (1,2 x 10⁵ till 1x10⁻⁶ Pa). BGV-slussventiler tål 1,2 bar absolut i båda riktningarna, vilket gör att vakuumledningen ovanför pumpen kan ventileras med ventilen stängd.
Den pneumatiska varianten BGV Mk2 har reed-brytare som kan användas av din styrutrustning för att avgöra om ventilen är öppen eller stängd, dessa innehåller även lysdioder som ger en visuell visning av ventilens läge. Varje BGV Mk2 pneumatisk ventil är försedd med en 24 V a.c./d.c. solenoid och förkopplad kontakt för direkt anslutning till din Edwards senaste generationens vakuumpump. Denna 15-vägs "D"-kontakt erbjuder en enda anslutningspunkt för både ström till solenoiden och signalen från reed switchens lägesindikatorer.
För att ansluta den pneumatiska ventilen BGV Mk2 till Edwards äldre produkter bör BGV Mk2 TIM-gränssnittskabeln användas. Lock Out Tag Out (LOTO) versioner finns också tillgängliga.
Tekniska data
![]() |
![]() |
||
BGV Mk2 | BGV LOTO | ||
Läckagehastighet (kropp / ventilsäte) | mbar l/s | <1x10-9 / <1x10-7 | <1x10-9 / <1x10-7 |
Tryckområde | - | 1x10-8 mbar to 1.2 bar | 1x10-9 mbar to 1.2 bar |
Max driftstemperatur (ventilhus) | °C | 150 | 120 |
Cyklar fram till första service | - | 5000 | 20000 |
Finns med | - | NW50, ISO63, ISO80, ISO100, ISO160 | NW50, ISO63, ISO80, ISO100, ISO160 |