Kryopumpar

Överlägsen prestanda och ökad drifttid för verktyg

Ombord på IS Cryopumps

Nyckelfunktioner

 
  • Fast Regen™-kapacitet som utökar kryopumpens prestanda mellan regenereringarna
  • Möjlighet för simultan regenerering, aktiverad genom att koppla ihop dina kryopumpar, som påskyndar den totala systemregenereringen
  • En inbyggd mikroprocessorkontroll för att förbättra prestanda, utföra diagnostiska rutiner och tillhandahålla kommunikationskapacitet
  • Sofistikerad programvara och lättanvända grafiska användargränssnitt för att avsevärt förbättra prestanda och drift.
  • Det patenterade distribuerade styrsystemet övervakar och justerar ständigt individuella delar av kryopumpsystemet
  • Upprätthåller optimal systemomfattande vakuumprestanda, vilket ger exceptionell processkonsistens
  • Snabbaste regenerering i enkel- och flerpumpskonfigurationer
  • Låg förbrukning av energi och kylvatten utan att kompromissa med vakuumprestanda
  • Enkel systemintegration
  • Snabb produktionsinstallation
  • Förbättrad fjärrövervakning för både förebyggande och prediktivt underhåll
Världsstandard för tillförlitlighet och prestanda CTI-Cryogenics är världsledande inom kryogen högvakuumteknologi. CTI bygger ett brett utbud av kryopumpar och kryopumpsystem utformade för att leverera exceptionell prestanda, tillförlitlighet och produktivitet.
Från våra enstaka kryopumpar som används i ett spektrum av högteknologiska forskningsapplikationer till våra sofistikerade kryopumpsystem som används vid tillverkning av halvledare, platta och optiska enheter, sätter CTI-Cryogenics världsstandarden för kryogen högvakuumteknologi

Edwards CTI-Cryogenics IS kryopumpsystem utnyttjar innovativ, högeffektiv teknologi för att ge oöverträffad vakuumprestanda och energieffektivitet.

Ett patenterat distribuerat kontrollsystem övervakar och justerar ständigt individuella delar av kryopumpsystemet för att bibehålla optimal systemomfattande vakuumprestanda för exceptionell processkonsistens. Inbyggda IS-kryopumpar levererar den högsta drifttiden, bästa produktiviteten och lägsta totala ägandekostnaden för alla kryopumpsystem som är tillgängliga idag, med stöd av Edwards mycket lyhörda globala service- och supportnätverk.

IS 320FX Cryopump

On-Board® IS 320FX Cryopump, utvecklad specifikt för att möta utmaningarna med dagens jonimplantatprocesser, ger förbättrad vätepumpningshastighet och kapacitet, samtidigt som den bibehåller den kvalitet, prestanda och tillförlitlighet du har förväntat dig.

  • Speciellt utformad för jonimplantatapplikationer
  • Optimerad för verktygskapacitet
  • Intelligent ”självjusterande” teknik
  • Lägre ägandekostnad
  • Ökad drifttid

IS XP

On-Board® IS XP Cryopump ger ökad kapacitet för PVD-applikationer för att uppnå maximal produktivitet samtidigt som processtransparens bibehålls. Samtidigt utnyttjar den den beprövade energieffektiviteten, konsekventa prestanda och låga ägandekostnad som du har förväntat dig av On-Board® IS.

  • Tillhandahåller kapacitetsoverhead för framtida processförbättringar
  • Lägre ägandekostnad
  • Ökad drifttid
  • Intelligent ”självjusterande” teknik för konsekvent vakuumprestanda

Edwards CTI-Cryogenics kompressorserie

Läs mer om kompressorerna här >

 

This site is registered on wpml.org as a development site. Switch to a production site key to remove this banner.