Proteus
Det nya riktmärket för minskning av växthusgaser
Edwards Proteus möjliggör effektiv behandling av PFC och andra globala uppvärmningsgaser utan användning av naturgas eller andra kolväten.
Proteus är en låg strömförbrukning, användarvänlig och kostnadseffektiv lösning för att minska koldioxidavtrycket från halvledartillverkning.
- Låg effekt, högeffektiv plasmateknik
- Plasmaeffektmodulering
- Låga NOx-utsläpp
- Lång MTBS
- Övertidsskydd med Proteus Dual
- En unik plasmateknologi med låg effekt som uppnår hög destruktionshastighetseffektivitet (DRE) för PFC-gaser som CF4 och andra globala uppvärmningsgaser som SF6, NF3 och N2O. Detta gör Proteus till en av de mest kostnadseffektiva lösningarna för att minska den globala uppvärmningen av gaser från halvledartillverkningsprocesser.
- Proteus Plasmas drifteffekt är helt justerbar i funktion av den inkommande gasbelastningen, vilket gör att användarna kan minimera strömförbrukningen och samtidigt bibehålla optimal behandlingseffektivitet. Gränssnitt med processverktyget och automatisk plasmaeffektmodulering ger ytterligare möjligheter att minska driftskostnaderna samtidigt som den högsta miljöprestandan bibehålls.
- PFC-gasreduktion kräver höga temperaturer som främjar bildandet av NOx-gaser. Proteus Plasma-teknik utvecklades för att minimera "termiska NOx"-utsläpp och står nu som ett av de ledande PFC-reduceringssystemen för "låg NOx".
- Förstörelsen av PFC-molekyler tenderar att öka syrabelastningen genom skapandet av giftiga och frätande vattenlösliga föreningar. Proteus plasmabrännare och våtskurningssteg har utformats speciellt för att minimera komponentkorrosion. I kombination med en utmärkt pulverhanteringsförmåga kan Proteus uppnå lång MTBS samtidigt som den upprätthåller en säker arbetsmiljö i Fab.
- Proteus Dual erbjuder en helt integrerad "backup"-lösning för att hjälpa till att säkra minskningstillgängligheten utan behov av komplicerade rörledningar och gränssnitt. Proteus Dual är en kostnadseffektiv, lättinstallerad lösning. Det hjälper till att upprätthålla processens drifttid, minska fotavtryck och installationskostnader, samtidigt som säkerheten för underfabriken förbättras. Prata med oss om hur Proteus kan hjälpa dig att nå dina miljömål.
