Spectra
För plattskärms- och solcellstillverkning

Spectra möter hög prestanda med ett miljömässigt samvete
Spectras avgashanteringssystem är en kostnadseffektiv, pålitlig och högpresterande reduktionslösning för den senaste generationen plattskärmar (FPD) och solcellstillverkningsprocesser.
Reduktion
• Unik 4-stegs förbränningsteknik
• Effektiv SiH4-reduktion
• Hög H2-flödesreducerande kapacitet
• Utmärkt hantering av höga flöden av NF3 / F2
• Hög NH3-reduktionskapacitet
• Modulär design av reduktion och partikelhantering
• Effektivitet för borttagning av pulver med 80 %
Surgasskrubbning
• Integrerad våtskrubber
• Vattenrecirkulationsenhet för att optimera vattenförbrukningen
Pulverfångning
Spectra ZW2 – vattenkyld reduktion med partikelavlägsnande
• Modular Wet Electrostatic Precipitator (WESP)
• Avlägsnande av 99 % partiklar
• Hög kapacitet för hantering av pulverlast
• Låg ägandekostnad i förhållande till alternativa lösningar
Tveka inte att kontakta oss för mer information.